【半导体新观察】九成半导体设备上市公司去年实现盈利 资本运作提速

作为A股半导体设备龙头，北方华创披露最新业绩，显示近三年营业收入复合增长率超过四成。据证券时报·e公司记者统计，目前已披露业绩的上市公司中，超九成半导体设备上市公司实现盈利，并且多家上市公司开展资本运作，进行同行整合，或者参与产业投资。

设备龙头业绩稳健

4月8日北方华创发布的业绩快报显示，2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%，实现归属于上市公司股东的净利润56.21亿元，同比增长44.17%。

得益于集成电路装备领域多款新产品取得突破，公司工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。另外，公司持续推动降本增效工作，平台优势逐渐显现，经营效率显著提高，成本费用率有效降低。

此前，北方华创介绍，公司去年多款新产品取得突破。电容耦合等离子体刻蚀设备、等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积立式炉、堆叠式清洗机等多款新产品进入客户生产线并实现批量销售，丰富了公司的产品矩阵，增强了产品布局的完整性。

最新披露的2025年一季度业绩预告显示，北方华创归属净利润实现14.2亿元至17.4亿元，比上年同期增长24.69%至52.79%。

2022年至2024年，北方华创营业收入和归母净利润连续三年实现增长，营业收入年复合增长率42.53%，归母净利润年复合增长率54.57%。

目前在已披露业绩的半导体设备上市公司中，北方华创盈利规模居首，其次为中微公司、盛美上海以及华海清科，归母净利润均实现10亿元以上。

作为半导体刻蚀设备龙头，中微公司去年归母净利润16.26亿元，扣非后净利润13.88亿元，较上年同期增加16.52%；半导体清洗设备龙头盛美上海去年实现归母净利润11.53亿元，同比增长26.65%；另外，CMP设备龙头华海清科实现归属母净利润约10亿元，同比增长约四成，产品市场占有率和销售规模持续提高，同时新产品研发和销售进展顺利。

研发投入增加

从盈利增速来看，先锋精科归母净利润同比增长1.7倍，目前增速最快，华海清科、华峰测控分别同比增长约四成与三成。

先锋精科指出，公司盈利大幅增长主要受益于国内半导体行业市场需求回暖及半导体设备关键零部件国产替代加速，公司营业收入增长，产能利用率提升，摊薄了固定成本，带动公司利润增长。据介绍，公司营业收入约60%—70%来源于北方华创、中微公司两大客户，公司向其提供腔体、内衬、匀气盘、加热器、工艺部件、结构部件等主要产品。根据订单情况、客户反馈信息，2025年中国半导体设备市场整体还处于上升周期。

另外，部分半导体设备企业将业绩增速放缓或者亏损主要归因于外部形势变化公司加大研发投入。

对于归母净利润同比下降，中微公司指出，除了2024年没有股权处置收益外，主要是由于市场及客户需求，以及外部形势的变化，公司需要大量的研发投入，以确保加速补短板和实现赶超。去年公司研发投入约24.52亿元，同比增长约九成，研发投入占公司营业收入比例约为27.05%。

目前中微公司在研项目涵盖六类、超二十款新设备的开发。公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。公司在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得了良好进展，并积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场。

作为半导体量测设备龙头，中科飞测去年归母净利润亏损约1153万元，成为目前已披露业绩的半导体上市公司中唯一出现亏损的企业。

中科飞测指出，为了加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，公司加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级等方面的研发投入，报告期内公司研发投入近5亿元，同比增长118.17%，占营业收入约36%，占比居前。另外，为进一步促进公司核心人才队伍的建设和稳定，公司制定并实施了《2024年限制性股票激励计划》，报告期内股份支付费用增加。

资本运作提速

相比往年，半导体设备上市公司资本运作提速，频频出手进行同行整合，或者参与产业投资。

4月8日，拓荆科技公告拟与沈阳市国资委共同发起设立辽宁省集成电路装备及零部件创新中心，将围绕半导体产业发展趋势布局前沿技术，进一步推动整机装备和零部件企业集聚发展。

北方华创去年12月同意向全资子公司华创创投增资5.1亿元，与北京电控产业投资有限公司、北京国有资本运营管理有限公司等共同设立北京集成电路装备产业投资并购二期基金。

另外，北方华创3月入主芯源微，先后受让沈阳先进制造技术产业有限公司、沈阳中科天盛自动化技术有限公司所持芯源微9.49%与8.41%股份，合计斥资约31亿元，成为芯源微第一大股东。目前芯源微的主要产品包括涂胶显影设备等核心工艺装备，双方产品布局有所不同，具有互补性，有利于双方协同效应的发挥。

在2025中关村论坛年会“硬科技投资与发展”平行论坛上，北方华创副总经理文东表示，半导体装备产业是一个技术、资金和人才高度密集的产业，只有当企业发展到一定规模或产品布局达到一定程度时，产业才会呈现聚集效应。北方华创与全球排名前五的企业相比仍有较大差距，但已进入新的发展阶段。在此阶段，需加快产品布局，而并购整合是一种有效的手段。另外，目前国内集成电路产业发展迅速，半导体装备作为硬科技，对设计和制造提供关键支持，需要不断向更先进的制程延展。

1月25日，先锋精科上市1个月后就迅速出手，拟以自有资金1200万元收购无锡至辰科技有限公司全部股权。先锋精科介绍，无锡至辰的主营业务为应用于泛半导体领域的陶瓷涂层服务。本次收购为进一步增强公司在半导体关键工艺部件的竞争力，在半导体金属零部件的表面处理工艺方面取得突破，满足公司在未来主营业务领域的发展需求。

另外，华海清科去年12月披露，拟使用自有资金不超过10.05亿元收购公司参股子公司芯嵛公司剩余82%的股权。资料显示，芯嵛公司主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。